每次讲半导体,焦点都在台积电、英伟达这些设计与制造大厂。再往上游走一层会发现,晶圆厂里的机台是另一批公司做的;没有这些设备,再厉害的制程也只是一张设计图。
这篇先讲做一颗芯片要用哪些机台、全球五大设备厂各做什么,再看台湾的设备材料厂站在哪个位置。它是 ASML 与光刻设备 的延伸地图版。
半导体设备在做什么?
制造芯片,是在一片硅晶圆上「盖出」几百亿个微小电路。晶圆进厂后,先长出材料层、涂上感光的光刻胶,用光刻机把电路图「曝印」上去,再刻蚀雕出线路、清洗、研磨整平,然后长下一层、再印、再刻蚀,来回数百次,全程还要检测有没有缺陷。每个步骤都对应一类专门机台,合起来就是「半导体设备」。
核心数据快照
| 主题 | 数值 | 来源 |
|---|---|---|
| 全球半导体设备市场 | 2025 年 1,351 亿美元(年增 15%) | SEMI 实际值 |
| 2026 年预测 | 1,659 亿美元(年增 23.2%) | SEMI 2026 年 7 月预测 |
| 前三大市场(2025) | 中国 493 亿、台湾 315 亿、韩国 258 亿美元 | SEMI 实际值 |
| 光刻龙头 ASML | 2025 年营收 327 亿欧元,EUV 销售 48 台 | ASML 年报 |
| High-NA EUV(新一代 EUV) | 2026 年 7 月首个量产逻辑产品(英特尔 18A 部分芯片层);台积电规划 2030 年起量产导入 | ASML、台积电官方 |
设备的几大类,各做什么
| 设备类别 | 在做什么(大白话) |
|---|---|
| 光刻 | 用光把光罩上的电路图「印」到晶圆的光刻胶上,最关键也最贵 |
| 涂布显影(黄光) | 涂上光刻胶、曝光后显影,与光刻搭配 |
| 刻蚀 | 依图形把不要的材料「雕掉」,分干式与湿式 |
| 薄膜沉积 | 长出导体、绝缘层等薄膜(CVD/PVD/ALD) |
| 化学机械研磨(CMP) | 用研磨垫加研磨液把表面磨平,才能叠下一层 |
| 离子注入 | 把掺杂离子打进硅里,改变电性 |
| 检测与量测 | 量线宽、膜厚、缺陷,全程把关良率 |
| 清洗 | 去除微粒与残留,穿插在各步骤之间 |
全球五大设备厂
| 公司 | 主要角色 |
|---|---|
| ASML(荷兰) | 光刻龙头,全球唯一供应 EUV 的厂商 |
| Applied Materials 应用材料(美) | 产品线最广:沉积、刻蚀、CMP、离子注入、量测都做 |
| Lam Research 科林研发(美) | 刻蚀、沉积、清洗,强项是先进节点的等离子刻蚀 |
| Tokyo Electron 东京电子(日) | 涂布显影、沉积、刻蚀、清洗 |
| KLA 科磊(美) | 检测量测与制程控制龙头 |
门槛这么高,设备出口就成了地缘政治的筹码,美国近年多次收紧对中国的设备出口。中国同时是设备大厂的重要客户:2026 年年中的单季财报里,应材 28%、科林 26%、东京电子 30.4% 的营收来自中国。管制的来龙去脉可以看 出口管制。
台湾的设备供应链:谁做什么
台湾不是光刻、刻蚀这类核心主机的主要产地,但在不少利基环节有完整供应链:
- 家登:EUV 光罩盒与晶圆载具,负责防止光罩和晶圆被污染。
- 辛耘、弘塑:湿制程设备(清洗、湿刻蚀等);弘塑另有化学品,辛耘也做再生晶圆。
- 中砂:CMP 用的钻石碟与研磨耗材,属耗材角色。
- 崇越:材料通路与整合,代理硅晶圆、光刻胶、特种气体、研磨液等。
- 帆宣:厂务自动化与系统整合。
- 闳康:材料分析、故障分析等检测服务,不是设备或材料供应商。
- 均豪:自动化与检测设备。
市场常把这些公司放进「半导体设备概念股」。它们和国际五大厂的量级不同;实际客户、机种与订单多半保密,市场上的对应关系常属机构推测,列名不代表已接单或受惠。本文只描述产业角色,不整理受益股、不做个股排名,也不构成投资建议。
小企鹅的总结
半导体设备是整条供应链的最上游,由五大国际厂把持,其中 ASML 的 EUV 是先进制程绕不过的一关。台湾的设备材料厂多在载具、湿制程、耗材、材料通路等利基环节切入。
想看这些设备为谁服务,可以读 晶圆代工 与 先进制程;想看整条链,回到 供应链总览。
理解分工,能让你看新闻时很快判断「这件事动到哪一环」。但分工地图和选股清单是两回事。